目 的
ガラスハードディスクのチャンファー部の寸法を非接触にて測定します。
測定対象製品は、強化ガラス及び結晶ガラスに対応し、高精度で確実な測定を実現します。
| 対象物仕様 |
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| 強化ガラス、結晶ガラスハードディスク |
| 性 能 |
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1.分解能 (H)2.6πm×(V)2πm 2.測定時間 0.2秒 |
| 装置仕様 |
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1.カメラ CCDエリアカメラ 2.照明系 投射スリット10π、30πm 3.コントローラー パソコンシステム PCIパス規格 |
| 適用分野 |
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高精度三次元計測 表面形状、欠陥表面の高精度測定 |