ラインスキャンカメラ式
テスクトップ型 自動外観検査装置
PIXELONE
高速・高解像度の欠陥検査はもちろん
カメラ・照明を最適角度に設定可能！！
コンパクトだから置き場所に困らない！！
特徴
- ラインスキャンカメラを使用することで、高速・高解像度な検査を実現
- 反射照明・透過照明の設置が可能（併用可）
- 角度可変機構 搭載（手動式、0°(垂直)～45°）
- 独自に最適化された画像処理アルゴリズム採用
高い検出精度を実現 - 欠陥種類(形状)判別機能
- ランク分け機能
欠陥サイズの範囲毎にランク分け(5段階) - 欠陥MAP表示・出力機能
欠陥種類(形状)/ランク別に色分け表示 - 欠陥個数カウント機能
欠陥総数、欠陥種類(形状)毎の個数、ランク毎の個数 - OK／NG判定機能
- ウェハに限らず、様々な形状・材質の対象物の検査が可能
- 撮像画像、欠陥MAP画像、結果データの保存可能
＜ハードウェア：画像撮像部＞
＜ソフトウェア：画像処理部＞
＜その他＞
用途
- 化合物・酸化物ウェハの研究・開発における外観検査・計測
次世代パワー半導体用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
次世代LED素子用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
通信用デバイス(SAWファイル等)用ウェハのスクラッチ・汚れ等 - 液晶ガラス基板の研究・開発における外観検査・計測
スマホ・タブレット用液晶ガラス基板の異物・スクラッチ・汚れ等 - 各種電子部品の研究・開発のおける外観検査・計測
仕様
| グレード | ハイスペック | スタンダード | ローコスト |
|---|---|---|---|
| タイプ | PIXELONE-H | PIXELONE-S | PIXELONE-L |
| 光学系構成 | 反射・透過（兼用可） | ||
| 使用カメラ | ラインスキャンカメラ（モノクロ/カラー） | ||
| 分解能（µm） | 1 | 3 | 10 |
| 視野（mm）*注1 | 8 | 24 | 80 |
| 移動軸 | 2軸（X軸・Y軸） | ||
| スループット（秒）*注2 | 300 | 40 | 5 |
| ソフトウェア | 専用画像処理ソフトウェア | ||
| 照明 | 高輝度LED光源（白、青、赤、緑） | ||
| 対象物 | 化合物ウェハ（パワー半導体用、LED素子用など） 酸化物ウェハ（通信デバイス用など） 液晶ガラス基板 電子部品 |
||
| 対象物サイズ | 150mm以内（Φ2~Φ6インチ） | ||
| 外形寸法（mm） | 1015(W) x 729(D) x 774.5(H) | ||
| 本体重量（kg） | 約80 | ||
| 電源 | AC100/110V（50/60Hz） 1500VA以内 | ||
| 特記事項 | カメラ・照明角度可変（手動、0°(垂直)～45°） | ||
| 各種光学フィルタ装着可（オプション） | |||
*注1：8192画素のラインスキャンカメラ使用時 *注2：Φ4インチウェハ測定時
システム構成
アプリケーション画面(イメージ)
画像処理フロー
- 前処理後画像
- 二値化画像
- 検出画像
代表的な欠陥例
- 三角欠陥
- マイクロパイプ
- キャロット欠陥
- キャロット欠陥
- クラック
- 汚れ
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