検査装置 INSPECTION EQUIPMENT

ラインスキャンカメラ式

テスクトップ型 自動外観検査装置

PIXELONE

高速・高解像度の欠陥検査はもちろん
カメラ・照明を最適角度に設定可能!!
コンパクトだから置き場所に困らない!!

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特徴

    <ハードウェア:画像撮像部>

  • ラインスキャンカメラを使用することで、高速・高解像度な検査を実現
  • 反射照明・透過照明の設置が可能(併用可)
  • 角度可変機構 搭載(手動式、0°(垂直)~45°)
  • <ソフトウェア:画像処理部>

  • 独自に最適化された画像処理アルゴリズム採用
    高い検出精度を実現
  • 欠陥種類(形状)判別機能
  • ランク分け機能
    欠陥サイズの範囲毎にランク分け(5段階)
  • 欠陥MAP表示・出力機能
    欠陥種類(形状)/ランク別に色分け表示
  • 欠陥個数カウント機能
    欠陥総数、欠陥種類(形状)毎の個数、ランク毎の個数
  • OK/NG判定機能
  • <その他>

  • ウェハに限らず、様々な形状・材質の対象物の検査が可能
  • 撮像画像、欠陥MAP画像、結果データの保存可能

用途

  • 化合物・酸化物ウェハの研究・開発における外観検査・計測
    次世代パワー半導体用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
    次世代LED素子用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
    通信用デバイス(SAWファイル等)用ウェハのスクラッチ・汚れ等
  • 液晶ガラス基板の研究・開発における外観検査・計測
    スマホ・タブレット用液晶ガラス基板の異物・スクラッチ・汚れ等
  • 各種電子部品の研究・開発のおける外観検査・計測

仕様

グレード ハイスペック スタンダード ローコスト
タイプ PIXELONE-H PIXELONE-S PIXELONE-L
光学系構成 反射・透過(兼用可)
使用カメラ ラインスキャンカメラ(モノクロ/カラー)
分解能(µm) 1 3 10
視野(mm)*注1 8 24 80
移動軸 2軸(X軸・Y軸)
スループット(秒)*注2 300 40 5
ソフトウェア 専用画像処理ソフトウェア
照明 高輝度LED光源(白、青、赤、緑)
対象物 化合物ウェハ(パワー半導体用、LED素子用など)
酸化物ウェハ(通信デバイス用など)
液晶ガラス基板
電子部品
対象物サイズ 150mm以内(Φ2~Φ6インチ)
外形寸法(mm) 1015(W) x 729(D) x 774.5(H)
本体重量(kg) 約80
電源 AC100/110V(50/60Hz) 1500VA以内
特記事項 カメラ・照明角度可変(手動、0°(垂直)~45°)
各種光学フィルタ装着可(オプション)

*注1:8192画素のラインスキャンカメラ使用時
*注2:Φ4インチウェハ測定時

システム構成

システム構成

アプリケーション画面(イメージ)

アプリケーション画面

画像処理フロー

  • 前処理後画像
  • 二値化画像
  • 検出画像
画像処理フロー

代表的な欠陥例

  • 三角欠陥
  • マイクロパイプ
  • キャロット欠陥
  • キャロット欠陥
  • クラック
  • 汚れ

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