特徴
- ラインスキャンカメラを使用することで、高速・高解像度な検査を実現
- 反射照明・透過照明の設置が可能(併用可)
- 角度可変機構 搭載(手動式、0°(垂直)~45°)
- 独自に最適化された画像処理アルゴリズム採用
高い検出精度を実現 - 欠陥種類(形状)判別機能
- ランク分け機能
欠陥サイズの範囲毎にランク分け(5段階) - 欠陥MAP表示・出力機能
欠陥種類(形状)/ランク別に色分け表示 - 欠陥個数カウント機能
欠陥総数、欠陥種類(形状)毎の個数、ランク毎の個数 - OK/NG判定機能
- ウェハに限らず、様々な形状・材質の対象物の検査が可能
- 撮像画像、欠陥MAP画像、結果データの保存可能
<ハードウェア:画像撮像部>
<ソフトウェア:画像処理部>
<その他>
用途
- 化合物・酸化物ウェハの研究・開発における外観検査・計測
次世代パワー半導体用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
次世代LED素子用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
通信用デバイス(SAWファイル等)用ウェハのスクラッチ・汚れ等 - 液晶ガラス基板の研究・開発における外観検査・計測
スマホ・タブレット用液晶ガラス基板の異物・スクラッチ・汚れ等 - 各種電子部品の研究・開発のおける外観検査・計測
仕様
グレード | ハイスペック | スタンダード | ローコスト |
---|---|---|---|
タイプ | PIXELONE-H | PIXELONE-S | PIXELONE-L |
光学系構成 | 反射・透過(兼用可) | ||
使用カメラ | ラインスキャンカメラ(モノクロ/カラー) | ||
分解能(µm) | 1 | 3 | 10 |
視野(mm)*注1 | 8 | 24 | 80 |
移動軸 | 2軸(X軸・Y軸) | ||
スループット(秒)*注2 | 300 | 40 | 5 |
ソフトウェア | 専用画像処理ソフトウェア | ||
照明 | 高輝度LED光源(白、青、赤、緑) | ||
対象物 | 化合物ウェハ(パワー半導体用、LED素子用など) 酸化物ウェハ(通信デバイス用など) 液晶ガラス基板 電子部品 |
||
対象物サイズ | 150mm以内(Φ2~Φ6インチ) | ||
外形寸法(mm) | 1015(W) x 729(D) x 774.5(H) | ||
本体重量(kg) | 約80 | ||
電源 | AC100/110V(50/60Hz) 1500VA以内 | ||
特記事項 | カメラ・照明角度可変(手動、0°(垂直)~45°) | ||
各種光学フィルタ装着可(オプション) |
*注1:8192画素のラインスキャンカメラ使用時 *注2:Φ4インチウェハ測定時
システム構成

アプリケーション画面(イメージ)

画像処理フロー
- 前処理後画像
- 二値化画像
- 検出画像
