オートフォーカス顕微鏡搭載
テスクトップ型 自動外観検査装置
PIXELONE-Z
高速・高解像度の欠陥検査を
今までにないスループットで実現
オートフォーカス顕微鏡搭載
ラインスキャンカメラ方式
超微細欠陥自動検査装置

特徴
- ラインスキャンカメラを使用することで、高解像度な検査を高いスループットで実現
- オートフォーカス顕微鏡を搭載により、高解像度でシャープな画像を撮像
- 対象物の反射特性に合わせ、照明の色の選択可能(白、青、赤、緑)
- 対象物の光学特性に合わせ“偏光”、“微分干渉”撮像の対応可能。(オプション)
※
オートフォーカス顕微鏡の特徴構成説明はこちら <ソフトウェア:画像処理部>
- 独自の画像処理アルゴリズムにより、高い検出精度を実現。
- 欠陥の形状特徴を様々な視点から数値化し、欠陥種類判別が可能。
- 欠陥個数の全数測定、種類別、単位面積当たりの個数や欠陥密度の測定機能。
- 欠陥分布の色分け表示により、一目でわかる欠陥MAP表示出力。
- ユーザが任意設定できる条件からのOK/NG判定機能搭載。
<その他>
- ウェハに限らず、様々な形状・材質の対象物の検査が可能 対応ワークサイズ最大150㎜ ワーク台の変更が必要です。(オプション)
- 撮像画像、欠陥MAP画像、結果データの保存可能
用途
- 化合物・酸化物ウェハの研究・開発における外観検査・計測
次世代パワー半導体用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
次世代LED素子用ウェハの結晶欠陥・スクラッチ等
- 各種電子部品の研究・開発のおける外観検査・計測
仕様
品名 オートフォーカス顕微鏡 使用カメラ ラインスキャンカメラ 対物レンズ倍率 ×5 ×10 ×20 分解能(μm) 0.7 0.35 0.175 有効視野(mm)*注1 4 2 1 最小検出サイズ(μm)(参考値) 4 2 1 スループット(秒/分)*注2 420/7 1080/18 3120/52 ソフトウェア 専用画像処理ソフトウェア 照明 高輝度LED光源(白、青、赤、緑) 対象物 各種半導体ウェハ
各種電子部品対象物サイズ 150mm以内(Φ2~Φ6インチ) 外形寸法(mm) 853(W) x 727(D) x 790(H) 本体重量(kg) 約80 電源 AC100/110V(50/60Hz) 1500VA以内 特記事項 オートフォーカス機能 偏光光学系(オプション) 微分干渉光学系(オプション) *注1:16384画素のラインスキャンカメラ使用時 *注2:Φ4インチウェハ測定時
アプリケーション画面(イメージ)
画像処理例
<ハードウェア:画像撮像部>