ラインセンサカメラのパイオニア企業／日本エレクトロセンサリデバイス株式会社/NED

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太陽電池ウェーハは、目視検査から画像検査へ欠陥情報を画像化、 数値化することにより貴社製造ラインの歩留まり向上に貢献します。

• 独自搬送方式・高速、高分解能ラインスキャンーカメラを採用することにより、ウェーハを高速連続撮像とウェーハ表裏面を非接触搬送で検査を行う検査機を完成させました。
• 特殊光学系による結晶間バラツキに影響を受けないで、汚れ、傷、検査を行う検査機を完成させました。