芝浦メカトロニクス株式会社のウエーハ用検査装置特許無効
日本エレクトロセンサリデバイス株式会社が全面勝訴

−知的財産高等裁判所　平成19年(行ケ)第10278号審決取消請求事件−

　本多エレクトロン株式会社（現芝浦メカトロニクス株式会社）及び東芝セラミックス株式会社（現コバレントマテリアル株式会社）は、ウエーハ用検査装置に係る発明（以下、「本件発明」）につき２社共願の形で特許出願を行い、平成１６年１２月、特許権（特許3629244号、以下、「本件特許」）を取得しました。しかしながら、本件発明は日本エレクトロセンサリデバイス株式会社（以下、「ＮＥＤ」）が関与することによってはじめて完成した発明であり、本来、３社共同で特許出願すべきもの（特許法第38条）でありました。
　ＮＥＤは、両社に対して権利の一部譲渡等を条件とする和解交渉を複数回にわたって行いましたが、合意に至らず、やむを得ず本件特許に対し無効審判（無効2006-80239）を請求しました。この審判では、本件発明の完成にＮＥＤ技術者が深く関与していることが認定され、本件特許は共同出願要件に違反しており無効であるとの審決が出されました。
　芝浦メカトロニクス株式会社は上記審決を不服として知的財産高等裁判所に審決取消訴訟を提起しましたが、裁判所はＮＥＤ主張を全面的に支持、この度、特許庁の無効審決を維持する判決が言い渡されました。

記

１．知的財産高等裁判所の判決内容
　原告（芝浦メカトロニクス株式会社）の請求を棄却する。
　訴訟費用は原告の負担とする。

２．本件特許の内容

名称	：	ウエーハ用検査装置
特許番号	：	特許第3629244号
出願人	：	本多エレクトロン株式会社及び東芝セラミックス株式会社
登録日	：	平成16年12月17日
発明の内容	：

【請求項１】
　周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって，該ウエーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部と，上記周端縁撮像部で撮像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し，上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成し，上記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備え，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成したことを特徴とするウエーハ用検査装置。

３．経緯
　平成14年 2月19日
　　本多エレクトロン株式会社及び東芝セラミックス株式会社が特許出願
　平成16年12月17日
　　本件発明に対し特許査定
　平成17年11月16日
　　本多エレクトロン株式会社から株式会社ネッドインデックスに名義変更
　平成18年 5月 1日
　　株式会社ネッドインデックスの持分が芝浦メカトロニクス株式会社に移転
　平成18年11月17日
　　弊社が特許庁に無効審判請求
　平成19年 6月19日
　　特許庁において本件特許無効の審決（全部無効）
　平成19年 8月 8日
　　東芝セラミックス株式会社の持分がコバレントマテリアル株式会社に移転
　平成19年 9月26日
　　芝浦メカトロニクス株式会社が知的財産高等裁判所に審決取消訴訟提起
　平成20年 9月30日
　　知的財産高等裁判所において請求棄却（無効審決維持）の判決
　平成20年10月14日
　　最高裁判所への上告期限切れにより判決確定


※ 判決詳細につきましては、裁判所ホームページに掲載されておりますので、ご参照下さい。
http://www.courts.go.jp/search/jhsp0030?action_id=dspDetail&hanreiSrchKbn=07&hanreiNo=36850&hanreiKbn=06

４．今後の対応
　判決の確定により本件特許は遡及的に消滅し、本件特許に関連する特許係争は終結しました。
　ＮＥＤ開発技術に関する特許がこのような形で消滅してしまうのは残念ではありますが、ＮＥＤ製品につきましては、ＮＥＤが別途保有する特許第3709426号（表面欠陥検出方法および表面欠陥検出装置に関する特許）により、ウエーハエッジ検査に対する基本的な技術は保護されており、他社による模倣を排除することができると考えております。
　ＮＥＤは更なる複合検査装置へとの機能追加、信頼性向上に努力し、ユーザー様の歩留まり、品質向上に貢献できる検査装置に仕上げるべく邁進して参ります。

平成２０年１０月２９日

各位